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▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲絕對壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介紹
Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術(shù)，Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra 技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來的。在敏感元件中央有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被Setra 獨(dú)特的集成電路檢測并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號，該集成電路是根據(jù)西特技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。
注：Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標(biāo)定源于NIST。
應(yīng)用
● 半導(dǎo)體過程工具和裝置
● 實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)
● 實(shí)驗(yàn)和測量
● 度量
● 分析化學(xué)系統(tǒng)
特點(diǎn)
■ 卓越的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價(jià)位
■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標(biāo)準(zhǔn)
性能參數(shù)
物理參數(shù)
電氣電壓(電壓)
精度A
±0.25%of Reading
殼體
鋁合金
電路
4線
精度B
±0.15%of Reading
電氣連接
15針D型插座或
6位螺紋接線端子
激勵(lì)
±15VDC,調(diào)整范圍5%
輸出2
0～10VDC或0～5VDC
溫度影響
壓力接頭
見訂購信息
功耗
﹤0.5w(﹤15mA)
補(bǔ)償范圍
0～+50℃(+32～+122℉)
腔體體積
﹤6cm3
零點(diǎn)偏移
±0.005%FS/℃
零點(diǎn)/滿量程調(diào)節(jié)
多匝點(diǎn)位計(jì)
(在畫面底部)
壓力介質(zhì)
與Inconel或InconeV不銹鋼相容的氣體。Inconel濕部件僅配0.5管的節(jié)頭,選擇其他的
接頭增加不銹鋼.
滿程偏移
±0.02
重量
260克(約9盎司)
分辨率
無限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
環(huán)境參數(shù)
溫度
1. 工作溫度的限制僅對電子元件而言,壓力介質(zhì)溫度可以更高或更低.
2. 采用50K的負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可接10000或更大的負(fù)載。
耐壓
45psia
工作溫度1
0～+50℃
時(shí)間常數(shù)
﹤20ms
儲存溫度
-50～+125℃
班奈自動化儀表（上海）有限公司
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