工程單位
測量氣體流量和相關的累積器數(shù)據(jù),可以通過前面板
按鍵或者數(shù)字接口指令直接設置工程單位。支持下列測量
單位:百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一個用戶定義的測量單位。
多氣體校準
DFM可存儲最多10種氣體的校準數(shù)據(jù)。也可以在氣體比
例精確的條件下進行多氣體校準。
轉換系數(shù)
DFM最多可存儲32種氣體的轉換系數(shù),而且用戶可自定
義轉換系數(shù),轉換系數(shù)可以通過按鍵或數(shù)字接口指令從任何
十種氣體校準數(shù)據(jù)中轉換。