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美國ALICAT PC/PCR壓力控制器
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美國ALICAT PC/PCR壓力控制器

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  • 50-100毫秒控制響應(yīng)（消除上游壓力波動造成的影響）
  • 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得最完美的速度和穩(wěn)定性
  • 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
  • PC3系列設(shè)有遠(yuǎn)程壓力傳感端口，從而允許壓力控制器靈活安置
  • 可設(shè)置成控制背壓
    • 標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- 0.25% F.S
    • 高精度 (選配): +/-  0.125% F.S
    • 線性范圍: 0.5-100% F.S, 量程可調(diào)比 200:1
      • 標(biāo)準(zhǔn)壓力控制器響應(yīng)時間常數(shù): 50 毫秒
      • 大流量壓力控制器響應(yīng)時間常數(shù): 100 毫秒 (PCR/PCR3/PCRS系列)
      • *壓力穩(wěn)定時間也取決于實(shí)際應(yīng)用中的設(shè)置
        • 表壓 (相對于大氣壓): 0-2 inH2O(G) 至 0-500 psig (PC)或0-300 psig (PCR), 負(fù)壓: -15 – 0 psig。*PCS/PCRS最小滿量程: 0-1 psig
        • 絕壓 (相對于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (PC)或0-300 psia (PCR)。*PCS/PCRS最小滿量程: 0-30 psia.
        • 差壓 (相對壓力): 0-2 inH2O(D) 至 0-150 psid (PC/PCR)。*PCS/PCRS滿量程范圍: 0-1 psid 至 0-100 psid, 負(fù)壓代表反向壓差
        • 標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
        • 選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
        • 配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
        • 通訊接口: 8針mini-DIN
        • 選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
        • 動態(tài)顯示設(shè)定值、表壓、絕壓或差壓
        • 標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
        • 選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
        • 有條件的終身質(zhì)保
        • 對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感
        • 壓力控制器 (電源需另行訂購)
        • NIST可溯源校準(zhǔn)證書
        • 艾里卡特操作手冊

        • 壓力控制器用于真空鍍膜

          結(jié)合您用得最順手的真空計(jì)與艾里卡特PC-EXTSEN壓力控制器，可打造最完美的絕壓控制方案用于真空沉積。質(zhì)量流量控制器控制進(jìn)入腔體的反應(yīng)氣體流量、PC-EXTSEN壓力控制器穩(wěn)定整個腔體壓力。

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